日本理化学仪器（Rigaku）近日宣布，将依托其全球**的研究基础设施，全面加速面向下一代半导体的测量技术开发。作为X射线分析领域的全球解决方案合作伙伴，理化学仪器集团旗下的株式会社理化学仪器（Rigaku，总部位于东京都昭岛市，社长川上润）正积极整合国际科研资源，深化在半导体精密检测领域的布局。
此次合作的核心亮点在于，理化学仪器与总部位于比利时的世界**半导体研发机构imec续签了为期三年的联合开发协议。双方将围绕核心X射线技术展开深度协同，重点突破3D器件测量、极薄膜及微量元素的高灵敏度检测，以及微小缺陷的无损检验等关键技术瓶颈。这一举措标志着理化学仪器在应对先进制程挑战时，拥有了更坚实的底层技术支撑。
攻克先进制程痛点，聚焦四大核心领域
随着半导体行业向GAA（环绕栅极）/CFET（互补场效应晶体管）等先进结构设计转型，以及存储器密度的持续提升，制造流程的复杂性呈指数级增长。这种变化使得对高精度、非破坏性测量和检测技术的需求变得前所未有的迫切，以确保持续稳定的量产能力。理化学仪器正是瞄准这一市场痛点，提供具有高附加值的差异化解决方案。
根据最新发布的开发计划，理化学仪器将集中资源攻克以下四大关键领域：
先进逻辑器件：开发专门针对CFET结构的测量与检测技术，应对晶体管立体化带来的新挑战。光罩测量：建立用于评估极紫外（EUV）曝光所用光刻掩模（Photomask）劣化的评价体系，保障良率。先进封装与布线：实施针对先进封装（Advanced Packaging）的无损检测，解决高密度集成中的内部缺陷识别难题。先进存储器：专注于下一代3D DRAM中微细结构的形状评价，助力存储芯片性能跃升。在高端AI半导体领域，理化学仪器测量与检测设备的服务可触达市场（SAM）规模预计将在2030年达到约10亿美元。面对这一快速增长的市场蓝海，理化学仪器计划通过陆续推出具备独特高附加值的产品，力争在该细分市场中占据50%的份额。
深化国际合作，构建中长期竞争壁垒
与imec的合作强化，不仅是技术层面的互补，更是理化学仪器提升在测量与检测这一高附加值领域竞争优势的战略举措。通过这种深度的产学研合作，理化学仪器旨在将短期的技术突破转化为中长期的事业增长动力，巩固其在全球半导体检测设备市场的领先地位。
理化学仪器集团以X射线分析为核心，涵盖热分析等**分析技术，是一支引领社会进步的技术力量。自1951年创立以来，作为产业与研究用分析解决方案的合作伙伴，理化学仪器已与全球136个国家和地区的客户共同成长。目前，其在日本****占据极高份额，海外销售额占比约70%。其应用领域正从传统的半导体、电子材料、电池、环境能源，不断拓展至生命科学等前沿领域。全球超过2,000名员工致力于通过“视觉之力”实现改变世界的创新。
对于中国半导体产业链而言，随着国内先进制程和封装技术的快速迭代，对高精度无损检测设备的需求日益旺盛。理化学仪器此次聚焦CFET和3D DRAM的检测技术突破，反映出全球行业对微观结构质量控制标准的重新定义。中国企业若能借此契机，加强与国际**研发机构的互动，并在高端检测设备的国产化替代上加大投入，将在未来半导体生态中占据更有利的位置。